製品情報(bào)
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製品情報(bào) Product information
標(biāo)準(zhǔn)型クライオポンプ [30型]
CRYO-U30H
特長(zhǎng)
- 大型成膜裝置、スペースチャンバー等に最適。
- 水に対する排気速度は最大。
外形寸法 (単位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 28,000 |
| 水素 | 43,000 | ||
| アルゴン | 23,000 | ||
| 水 | 70,000 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.7×103(20) |
| 水素 | 7.4×102(5.6) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 7.8×108(5.9×106) |
| 水素 | 1.5×107(1.1×105) | ||
| 冷卻降下時(shí)間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 240/200(50/60) | |
| 吸気口フランジ | VG-750 | ||
| コンプレッサユニット | C30VR×2 | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 175.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時(shí)間
U22H,U30Hは、外國(guó)為替および外國(guó)貿(mào)易管理法の規(guī)定により戦略物資等輸出規(guī)制品に該當(dāng)します。
日本國(guó)外に持ち出す際は日本國(guó)政府の輸出許可申請(qǐng)等必要な手続きをお取りください。
