產(chǎn)品信息
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產(chǎn)品信息
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵20型
CRYO-U20P
特征
- Suitable for large deposition systems and other production equipment.
- Suitable for batch type large deposition systems.
外形尺寸（單位：mm）
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 排氣速度（20℃） | 氮?dú)?/td> | L/s | 10,000 |
| 氫氣 | 18,000 | ||
| 氬氣 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.1×103(8.7) |
| 氫氣 | 5.0×102(3.7) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氫氣 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷卻下降時(shí)間 | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-500 | ||
| 壓縮機(jī)裝置 | C30VR | ||
| 重量 | kg | 69.0 | |
*保養(yǎng)周期：16,000小時(shí)
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
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