製品情報(bào)
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製品情報(bào) Product information
極低溫実験裝置クライオスタット（Cryostat）
ウエハー冷卻用クライオスタット
特長(zhǎng)
従來(lái)のクライオスタットでは半導(dǎo)體をチップの狀態(tài)でしか測(cè)定できませんでしたが、本クライオスタットを使用することにより、ウエハー狀態(tài)で室溫から極低溫まで自在に溫度コントロールすることができます。
また、マニピュレーターを裝備しており、ウエハーを冷卻しながらプロービングす ることができます。
（巖谷瓦斯社 低溫機(jī)器製品 継承）
詳細(xì)図
標(biāo)準(zhǔn)仕様
| 冷凍機(jī) | HE05/UW404 | D510/SA115?SW115 | S030/SA115?SW115 |
| 到達(dá)溫度 | 10K以下 | 25K | 40K |
| 溫度制御範(fàn)囲 | 10K～300K ±0.2K | 25K～300K ±0.2K | 40K～300K ±0.2K |
| 最大ウエハー寸法 | 2インチ | ||
| サンプル部振動(dòng)値 | 1μm以下（床振動(dòng)が2μm以下） | ||
| 付屬品 | マニピュレーター2または4基 プローバー、同軸プローバー 真空排気弁、溫度制御用ヒーター 溫度センサー（溫度制御用、計(jì)測(cè)用） |
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