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[クライオポンプQ&A 1 ]
アルバック?クライオについて
| ● | 「ULVAC」とはどういう意味ですか？ |
| ● | 「ULVAC CRYO」とはどういう意味ですか？ |
| ● | クライオポンプはどういうところに使用されていますか？ |
| ● | メンテナンス體制はどうなっていますか？ |
| Q1 | 「ULVAC」とはどういう意味ですか？ |
| A1 | 「Ultimate in Vacuum」を略したもので「究極の真空」という意味です。 |
| Q2 | 「ULVAC CRYO」とはどういう意味ですか？ |
| A2 | CRYOはCryogenicsを略したもので、低溫技術とか低溫工學という意味です。 |
| Q3 | クライオポンプはどういうところに使用されていますか？ |
| A3 | 清浄な高真空、極高真空が要求される裝置（例えば蒸著裝置、スパッタリング裝置、イオン注入裝置、半導體プロセス裝置、加速器、核融合裝置、表面分析裝置、スペースチャンバー等）で使用され、半導體や液晶、ディスク等の電子部品やメガネレンズなどの成膜裝置等に広く応用されています。 |
| Q4 | メンテナンス體制はどうなっていますか？ |
| A4 |
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