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製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [4型]
CRYO-U4H

特長

  1. 4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
  2. 高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄與します。
  3. 特に半導體製造裝置のスパッタプロセスや小規(guī)模の裝置に適しています。
  4. 1臺のコンプレッサーで4臺までのポンプを運転することが可能です。
  5. ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 450
水素 500
アルゴン 370
1,100
到達圧力 Pa 10-7
最大流量 アルゴン Pa?L/s 1.3×103
排気容量 アルゴン Pa?L 1.0×107
水素 1.5×105
冷卻降下時間 min(50/60Hz) 45/50
質量 Kg 14.5
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