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| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 11,500 |
| 水素 | 14,000 | ||
| アルゴン | 9,700 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.7×103(12.8) |
| 水素 | 5.0×102(3.7) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 水素 | 6.0×106(4.5×104) | ||
| 冷卻降下時(shí)間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 180/170(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-550 | ||
| コンプレッサユニット | C30PVRT | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 115.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時(shí)間
アルバック?クライオ株式會(huì)社
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〒 253-0085 神奈川県茅ヶ崎市矢畑1222-1
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営業(yè) ?。?span data-action="call" data-tel="0467-85-8884">0467-85-8884
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