製品情報
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製品情報 Product information
標(biāo)準(zhǔn)型クライオポンプ [10型]
CRYO-U10H
特長
- マルチ運転（2臺）によりランニングコスト低減が可能。
- 実験裝置、中規(guī)模生産裝置向き。
外形寸法 (単位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 2,400 |
| 水素 | 3,600 | ||
| アルゴン | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 8.0×102(6.0) |
| 水素 | 1.5×102(1.1) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 1.0×108(7.8×105) |
| 水素 | 6.7×105(5.0×103) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-250 | ||
| コンプレッサユニット | C15R | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 29.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
*移動ベースはオプションです
